Materiaal siliciumnitride op hoog niveau

Onder externe omstandigheden kan siliciumpoeder volledig worden genitrideerd in het SHS -proces om te genererensiliciumnitride, en het product heeft een hoog stikstofgehalte en een laag zuurstofgehalte, maar het is fase. In de Silicon Fume Shs -reactie moet een geschikte hoeveelheid Si _3 n _4 zaad worden toegevoegd; De voortplantingssnelheid van de SHS -verbrandingsgolf van silicium neemt toe met de toename van stikstofdruk en de afname van de reactantvuldichtheid, maar is onafhankelijk van de reactant -samenstelling en monsterdiameter. De verbrandingsgolftemperatuur nam toe met de toename van de stikstofdruk en de toename van de monsterdiameter, die onafhankelijk was van de samenstelling van reactanten en vuldichtheid.

1.SiliciumnitrideFilms werden bereid met behulp van plasma chemische dampafzetting (PECVD) technologie onder verschillende afzettingsomstandigheden (substraattemperatuurbereik van 20 ~ 180 graden en RF -vermogen van 10 ~ 30 W), en de effecten van depositieomstandigheden op de eigenschappen en waterdichte eigenschappen van siliciumnitridefilms werden bestudeerd. De experimentele resultaten laten zien dat met de toename van de substraattemperatuur, de dichtheid, brekingsindex en SI/N -verhouding van siliciumnitridefilms overeenkomstig toenemen, terwijl de afzettingssnelheid en het H -gehalte overeenkomstig afnemen. Met de toename van het RF -vermogen, neemt de afzettingssnelheid, dichtheid, brekingsindex en SI/N -verhouding van siliciumnitridefilms overeen met dienovereenkomstig, terwijl het H -gehalte dienovereenkomstig afneemt. Het waterdamppermeatie -experiment laat zien dat zelfs als de substraattemperatuur wordt verlaagd tot 50 graden, de afgezette siliciumnitridefilm nog steeds een goede waterdichte prestaties heeft. Experimentele resultaten tonen aan dat siliciumnitridefilms met lage temperatuur effectief kunnen worden toegepast op de verpakking van organische lichtemitterende apparaten (OLED's).

Populaire tags: Materiaal siliciumnitride op hoog niveau, China hoog niveau materiaal siliciumnitride fabrikanten, leveranciers, fabriek