Metalen siliciummetaal op hoog niveau 97

Gelijktijdige bepaling van sporen- en sporenonzuivere elementen AL, CA, Fe, Mn, P, Cr, Cu, Ni, Ti, V, Zr, As en B inductief gekoppeld Plasma Atomic Emission Spectroscopy (ICP-AES) inSiliconenmetaal 97. Een Silicon Metal Standard Sample, NIST SRM -57 A, werd bepaald met bevredigende resultaten voor de bepaling van siliciummetaalmonsters onder geoptimaliseerde instrumentomstandigheden en assaymedia. De terugvorderingen van spoor- en sporenonzuiverheden in siliciummetaalmonsters waren tussen 95%~ 105%, en de relatieve standaardafwijking RSD was minder dan 5%, wat gemakkelijk te bedienen was, snel om te analyseren en nauwkeurige en betrouwbare resultaten.

1.In het microsensorsysteem, de meerlagige smeltbaarSiliconenmetaal 97Interconnectieproces wordt gebruikt om het feit te overwinnen dat wanneer de microsensor en de IC -chip monolithisch worden geïntegreerd, de aluminiumverbinding de gloeiende hoge temperatuur kan weerstaan ​​die vereist is in het productieproces van de microsensor en de interconnectiestructuur kan worden verwerkt op het standaard CMOS -proces lijn, die de productiekosten verlaagt. Na tape-out heeft de interconnectstructuur de kenmerken van sterke stapdekking, goede thermische stabiliteit, lage weerstand en gemakkelijk droge etsen, die kunnen voldoen aan de vereisten van grootschalige IC-meerlagige interconnect. Het grootschalige digitale-analoge hybride geïntegreerde circuit dat bestaat, behoudt zijn prestaties nadat de gloeomstandigheden respectievelijk 500 graden 5, H, 600 graden, 30 minuten, 650 graden 5 en min zijn. De bovengenoemde gloeiende omstandigheden voldoen aan de vereisten van monolithische integratie van microsensorsystemen op basis van ferro -elektrische dunne films.

Populaire tags: Hoog op hoog niveau siliciummetaal 97, China hoog niveau metalen siliciummetaal 97 fabrikanten, leveranciers, fabriek