Metalen siliciummetaal op hoog niveau 553

Een zelf-uitlodingsmethode voor de fabricage van Siliconenmetaal 553 iS gebruikt om een ​​poortstructuur en een bron-/afvoergebied op het substraat in volgorde te vormen. Daarna wordt de stap van de ionenimplantatie uitgevoerd om metaalionen op het oppervlak van de poortstructuur en het oppervlak van het bron-/afvoergebied te implanteren. Vervolgens worden twee warmtebehandelingsprocessen uitgevoerd om de metaalionen en het silicium op het oppervlak van de poortstructuur en het oppervlak van het bron-/afvoergebied te silicificeren en een zeer geleidende metalen silicidelaag te vormen op het oppervlak van de poortstructuur en het oppervlak van het bron/afvoergebied. Onder hen kunnen de metaalionen kobalt, titanium, nikkel, platina of palladium zijn.

1.Een methode om Boron in te verwijderenSiliconenmetaal 553in overdracht pollepel. Het omvat: ten eerste wordt het verminderde vloeibare siliciummetaal in de ondergedompelde oven overgebracht naar de overdrachtslepel; Vervolgens wordt het voorverwarmde gemengde gas in het vloeibare siliciummetaal uit de bodem van de overdrachtslepel geblazen en het gemengde gas bestaat uit zuivere zuurstof, waterdamp, argon; Na volledige reactie en verwijdering van onzuiverheid stroomt het vloeibare siliciummetaal uit de bodem van de overdrachtslepel en wordt geworpen om siliciummetaal met een hoog zuiver te verkrijgen. De onderhavige uitvinding blaast de hoge zuivere zuurstof, waterdamp en argon gemengd gas uit de bodem van de overdrachtsschoep in het siliciummetaal in gesmolten toestand door de hoge zuiverheid zuurstof bij hoge temperatuur voor te verwarmen, en het effect van het verwijderen van boor en fosfor en fosfor. Onzuiverheden zijn duidelijk, en het andere deel van de onzuiverheden wordt geoxideerd om de gemakkelijk te spelen stof te genereren die door het gas wordt weggedragen of op het oppervlak van het vloeibare siliciummetaal te drijven, zodat de onzuiverheden in het siliciummetaal aanzienlijk zijn verminderd. In vergelijking met andere boorverwijderingsmethoden heeft deze technologie duidelijke economische voordelen, die het energieverbruik aanzienlijk kunnen verminderen, het procesverwijderingsproces van de onzuiverheid kunnen verkorten en de industriële productie van goedkope en hoog-zuivere siliciummetaal kunnen realiseren.

Populaire tags: Metalen siliciummetaal op hoog niveau 553, China hoog niveau metalen siliciummetaal 553 fabrikanten, leveranciers, fabriek