Materiaal op hoog niveau siliciummetaal 2502

Een materiaal en bereidingswijze met een metaalsilicide, aSiliconen metaal 2502nanostructuur, die een metalen silicide nanostructuur omvat die is vervaardigd op een SOI -substraat; De dikte van de isolerende diëlektrische laag van dit SOI -substraat is 100-1000 nm en de dikte van de siliciumfilm is 50-500 nm. De bereidingsmethode omvat reiniging, drogen, spincoating positieve fotoresist, blootstelling, ontwikkeling en bevestiging, en vervolgens de maskerpatroonstructuur van de vereiste nanostructuur op het silicium dunne filmoppervlak van het SOI -substraat te fabriceren.

1.een materiaal en bereidingswijze met een metaalsilicide, aSiliconen metaal 2502nanostructuur, die een metalen silicide nanostructuur omvat die is vervaardigd op een SOI -substraat; De dikte van de isolerende diëlektrische laag van dit SOI -substraat is 100-1000 nm en de dikte van de siliciumfilm is 50-500 nm. De voorbereidingsmethode omvat dat het SOI-substraat wordt gereinigd, gedroogd, spin-gecoat met positieve fotoresist, blootgesteld, ontwikkeld en gefixeerd, en de maskerpatroonstructuur van de vereiste nanostructuur wordt gefabriceerd op het siliciumdunne filmoppervlak van het SOI-substraat. Reactief ionen etsen wordt gebruikt om de siliciumfilm op het SOI -substraat in de vereiste nanostructuur te etsen, de diepte van etsen is de dikte van de siliciumfilm, en vervolgens op de isolerende laag die de siliciumnanostructuur bevat, de metaalfilm die nodig is voor de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming van de vorming Metalen silicide wordt afgezet, en vervolgens reageren het metaal en het silicium in vaste fase door gloeien op hoge temperatuur om metalen silicide te vormen, en het niet-gereageerde metaal wordt verwijderd door chemische corrosie, dat wil zeggen dat het metalen silicide nanostructuur wordt gevormd. De methode is eenvoudig en kan de positie en schaal van de nanostructuur regelen.

Populaire tags: Materiaal op hoog niveau Siliconenmetaal 2502, China hoog niveau materiaal Siliconenmetaal 2502 fabrikanten, leveranciers, fabriek