Topmateriaal niobium doelwit

A niobium doelwitmateriaal en bereidingsmethode daarvan omvatten de volgende stappen: gelijkmatig mengen van niobiumpentoxidepoeder en niobiumpoeder, calcineren bij 600~800 graden gedurende 0,5~3 uur in een zuurstofatmosfeer of luchtatmosfeer om een ​​voorbehandelde poeder; Het voorbehandelde poeder werd heet geperst en gesinterd in een grafietvorm bij 900 ~ 1200 graden gedurende 0,5 ~ 1 uur in een beschermgasatmosfeer om een ​​niobiumoxidedoelwit te verkrijgen, en de chemische formule van het niobiumoxidedoelwit was Nb.

1.Een mal voor het binden van een grote grootteniobiumdoel, omvattende een koperen plaat, die een voor- en een achterkant omvat; De voorkant van de koperen plaat is voorzien van een chimere groef, en de binnenkant van de chimere groef is ingebed met een doelmateriaal dat is gesplitst door een aantal stukjes niobiumoxide; een laag metaalindium is aangebracht tussen het doelmateriaal en de bodem van de groef van de chimere groef, waarbij een kanaal voor koude lucht is gevormd in de achterkant van de koperen plaat, en een temperatuursensor is aangebracht binnen het kanaal voor koude lucht; Het uitgangsuiteinde van de beschreven temperatuursensor is verbonden met de PLC-controller. Eenvoudige structuur, lage kosten en gemakkelijk onderhoud, kan voldoen aan de bindende eisen van de grotere omvang van het doel, via het koude luchtkanaal dat op de koperen plaat is aangebracht, de temperatuursensor in het koude luchtkanaal en de koude luchtkoeler en ventilator met geïnduceerde trek verbonden met het koude luchtkanaal kan het warmtedissipatie-effect van het doel worden verbeterd, om te voorkomen dat het doel barst of zelfs breekt tijdens het sputterproces en het sputteren beïnvloedt; Via de ingestelde PLC-controller kan de automatische regeling van het warmtedissipatie-effect worden gerealiseerd en is de mate van automatisering hoog.

Populaire tags: Topmateriaal Niobium Doel, China Topmateriaal Niobium Target -fabrikanten, leveranciers, fabriek